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德国巴鲁夫BALLUFF倾斜传感器描述:用于光辐射的光源、具有用于使得由光源产生的光辐射通过的光学有效图案的图案载体、沿着辐射传播方向设在该图案载体下游的倾斜敏感单元、以及用于由光源产生的辐射入射且穿过所述图案载体和倾斜敏感单元的透射区域,其中,所述光源为图案载体的形式。
本发明的一个优点在于与现有倾斜计相比至少减少了一个组成元件,这使得可以减少制造成本并允许缩短设计。另一个优点是在光束撞击图案之前省略了光束的校准。
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